全自动LED-UV解胶机

UVL400是一款自动Frame上料,解胶,下料的UV解胶设备,该设备兼容8”和12”带Frame的wafer,且无需治具更换。

 

机台主要结构:

面光源LED UV照射灯

独立LED灯供电系统

Cassette自动上下料机构

压盖密封充氮气机构

自动盖章机构

 

技术优势:

LED面光源照射,照射均匀性在5%以内

具有充氮气功能,解胶效果更好

大功率照射,平均7秒左右即可达到300mJ/cm²照射能量

全进口LED灯珠,灯珠设计寿命2万小时以上,功率均衡稳定,超长寿命(LED灯保修两年)

 

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