CO2发泡机适用于半导体晶圆切割工序，它是通过渗入CO2，使水的电阻率降价（达到0.2MΩ.cm）.从而消除水中的静电,达到保护wafer的作用。

产品优势:

1、精准的电阻率控制能力,可将电阻率控制在±0.1 MΩ·cm

2、增加了电阻率自动调节系统.